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阿斯麦(ASML)半导体设备被动式空气弹簧隔振器介绍

来源：上海松夏减震器有限公司    发布时间：2023-05-30 11:37

阿斯麦(ASML)半导体设备被动式空气弹簧隔振器介绍:被动式空气弹簧隔振器在造纸设备、皮革机械、振动台、纺织设备、矿山、机械等行业应用十分广泛。工业设备上使用的被动式空气弹簧隔振器根据其橡胶体的层数大致分为单层、双层、三层橡胶气囊。
被动式空气弹簧隔振器工作原理:空气弹簧工作时，内壁充进压缩气体，形成了一个压缩气体气柱。伴随着振动载荷数量的增加，弹簧的高度减少，内壁容积减少，弹簧的刚度增多，内壁空气柱的有效承载面积加大，此时此刻弹簧的载荷力度增多。当振动载荷量减少时，弹簧的高度升高，内壁容积增多，弹簧的刚度减少，内壁空气柱的有效承载面积减少，此时此刻弹簧的载荷力度减少。如此一来，空气弹簧在合理的行程内，被动式空气弹簧隔振器的高度、内壁容积、载荷力度伴随着振动载荷的递增与减少发生了一些平稳的柔性传递、振动幅度与振动载荷的控制。还可以利用增、减充气量的方式方法，调节弹簧的刚度和承载力大小，同时也可以附属辅助气室，实现了自动控制调节。
半导体设备被动式空气弹簧隔振器介绍
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