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SWB200型晶圆键合设备安装空气弹簧

来源:上海松夏减震器有限公司    发布时间:2024-11-12 11:02

在半导体制造领域,晶圆键合设备的高精度与稳定性是实现先进芯片制造的关键。SWB200型晶圆键合设备通过安装空气弹簧,进一步提升了其振动隔离与精密定位能力,确保了键合过程的精准无误。
 
空气弹簧以其高度的可调性、良好的隔振性能和长期稳定性,成为晶圆键合设备减震隔振的理想选择。它们通过调节内部气压,实现对设备支撑刚度的精确控制,有效隔离来自地面或周围环境的微小振动,确保晶圆在键合过程中的精确定位与对齐。
SWB200型晶圆键合设备安装空气弹簧
安装空气弹簧时,需精确测量晶圆键合设备的重量分布,依据设备制造商提供的指南,合理布局空气弹簧的位置与数量。使用专用工具进行安装,确保空气弹簧与设备底座之间的紧密贴合,同时连接好气压控制系统,进行初步的气压调节与测试。
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